半导体硅片
—— MEMS ——
半导体硅片-MEMS
硅片、光刻胶等半导体材料，具备多种金属膜层/非金属膜层真空镀膜、光刻图形化及微纳刻蚀加工，可在硅片、陶瓷、玻璃、蓝宝石、PET/PI柔性材料等基底光刻加工，最小线路精度可达1um。
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