Plaquette de silicium semi-conducteur-MEMSPlaquette de silicium, résine photosensible et autres matériaux semi-conducteurs, avec une variété de revêtement sous vide de film métallique/film non métallique, de motifs lithographiques et de traitement de gravure micro-nano, peuvent être utilisés dans les plaquettes de silicium, la céramique, le verre, le saphir, les matériaux flexibles PET/PI et d'autres substrats sont traités par lithographie, et la précision de ligne minimale peut atteindre 1 um.