La photolithographie est l'une des étapes les plus importantes du processus de fabrication des dispositifs à semi-conducteurs. La photolithographie utilise un masque avec une conception graphique, par le biais d'une réaction photochimique, par exposition et développement, pour fabriquer la résine photosensible photosensible sur le substrat. Le processus de formation de graphiques. Le processus de lithographie est principalement utilisé dans le traitement des dispositifs semi-conducteurs, la fabrication de circuits intégrés, etc. Traitement de photolithographie, traitement micro-nano, traitement micro-nano lithographique.

       Le processus principal de traitement de photolithographie : d'abord, la lumière ultraviolette est irradiée à la surface du substrat avec une couche de film de photorésist à travers le masque, provoquant une réaction chimique du photorésist dans la zone exposée ; puis la zone exposée ou la zone non exposée est dissoute Le photorésist (le premier est appelé photorésist positif, le second est appelé photorésist négatif), de sorte que le motif sur le masque est copié sur le film de photorésist ; enfin, le motif est transféré sur le substrat par la technologie de gravure .

Paramètres de traitement de la lithographie des semi-conducteurs Zixin ZIXIN

       Précision d'usinage : 1 μm, précision à 5 % près

       Matériau du substrat : plaquette de silicium, plaquette d'oxyde de silicium, verre, saphir, céramique, substrat flexible PI/PET

       Tailles de substrat : 6', 4', 2' et petits morceaux irréguliers